1. É. Dumur, K.J. Satzinger, G. A. Peairs, M.-H. Chou, A.
Bienfait, H.-S. Chang, A. N. Cleland, Npj Quant. Inf. 7,
(2021)#
2. M. V. Gustafsson, Nature Phys. 18, (2022)#
3. Y. Chu, P. Kharel, W. H. Renninger, L. D. Burkhart, L.
Frunzio, P. T. Rakich, R. J. Schoelkopf, Science 358,
(2017)#
4. J. Zhang, Phys. Rev. Lett. 15, (2023)
5. A.Blais, A.L.Grimsmo,S.M.Girvin,A.Wallraff,Rev.
Mod. Phys. 93, (2021)#
6. A.H.Safavi-Naeini, O. Painter, New J. Phys. 13, (2011)#
7. K. Kuruma, Nature Phys. 1, (2024)#
8. K. J. Satzinger, Appl. Phys. Lett. 18, (2023)#
9. L. R. Sletten, Phys. Rev. B 107, (2023)
10. J.-J. Xue, W.-Q. Zhu, Y.-N. He, X. Wang, H.-R. Li,
Quantum Inf. Process. 19, (2020)#
11. M. Kervinen, I. Rissanen, M. A. Sillanpää, Phys. Rev.
Lett. 128, (2022)#
12. A. Pontin, M. Bonaldi, A. Borrielli, L. Marconi, F.
Marin, F. Marino, L. Conti, Phys. Rev. Lett. 116, (2016)#
13. H. M. I. Hassan, N. F. F. Areed, H. A. El-Mikati, M. F.
O. Hameed, S. S. A. Obayya, Opt. Quantum Electron.
54, (2022)#
14. J. D. Teufel, T. Donner, D. Li, J. W. Harlow, M. S. All
man, K. Cicak, R. W. Simmonds, Nature 475, (2011)#
15. G.T.Foster, A. Lamas-Linares, J. C. Howell, Phys. Rev.
B62, (2000)#
16. J. M. Kitzman, J. R. Lane, C. Undershute, P. M. Har
rington, N. R. Beysengulov, C. A. Mikolas, J. Pollanen,
Nat. Commun. 14, (2023)#
17. M. Mirhosseini, A. Sipahigil, M. Kalaee, O. Painter,
Nature 588, (2020)#
18. M. Wu, A. Ozcelik, J. Rufo, Z. Wang, R. Fang, T. Jun
Huang, Microsyst. Nanoeng. 5, (2019)#
19. A.Bienfait, Y. P. Zhong, H.S.Chang,M.H.Chou,C.R.
Conner, É. Dumur, J. Grebel, G. A. Peairs, R. G. Povey,
A. N. Cleland, Phys. Rev. Lett. 130, (2023)#
20. T. Neuman, M. Eichenfield, M. E. Trusheim, L. Hack
ett, P. Narang, D. Englund, Npj Quant. Inf. 7, (2021)#
21. M. Aspelmeyer, T. J. Kippenberg, F. Marquardt, Rev.
Mod. Phys. 86, (2014)#
22. V. Laude, APL Mater. 9, (2021)#
23. L. V. Wang, S. Hu, Science 335, (2012)#